Vakuumpumpemotorfejl kan opdeles i to kategorier: mekaniske og elektromagnetiske: førstnævnte, såsom kammerfejning (rotorens ydre cirkel gnider mod statorindvendige cirkel), lejeslid osv., mens sidstnævnte hovedsageligt forekommer på viklingen. Princippet for inspektion er at starte med det ydre og derefter det indre, og det mekaniske og derefter elektromagnetiske.
For at diagnosticere en fejl skal man først forstå den situation, hvor fejlen opstod, især ændringerne før og efter fejlen opstod. Hold øje med motoren for unormale forhold, såsom løse, revnede eller beskadigede endehætter, ventilatorer, endehætter og huse, blokerede luftkanaler, bøjede aksler og eventuelle specielle lugte. Identificer, om det er lugten af brændt isoleringsmaling, smeltet og fordampet smørefedt eller andre lugte. Drej rotoren med hånden, og lyt efter friktion eller gnidning mellem statoren og rotorens jernkerne. Hvis elmotoren stadig kan startes, skal man være opmærksom på, om der er unormal lyd under start og drift. Og rør ved hver del af motoren med hånden for at kontrollere graden af opvarmning, og om der er lokal overophedning (såsom lejekammeret er varmere end andre dele) og vibrationer.
Viklingsskaden på trefasede asynkronmotorer er i høj grad forårsaget af fasetabsdrift. Den såkaldte fasetabsdrift refererer til det pludselige strømafbrydelse af en fase i en kørende motor, mens motoren fortsætter med at fungere. På grund af overdreven strøm brændes viklingen uundgåeligt ud. Når der opstår en fasetabsoperation, er lyden fra motoren ekstremt unormal. Hvis det opdages, skal strømmen øjeblikkeligt afbrydes, og køretøjet skal standses til inspektion.

Derudover er viklingskortslutningsfejl også almindelige. Vikle kortslutninger kan opdeles i en fase vikling til jord kortslutning, nemlig jording, to-fase vikling til fase kortslutning og en fase vikling til at vende kortslutning.
Når isoleringen mellem viklingen og jernkernen er beskadiget, vil der opstå en jordingsfejl. På grund af den høje strøm kan jordingspunktets vikling brænde ud, eller sikringens ledning kan smelte, hvilket resulterer i fasetab. Hvis kabinettet ikke er pålideligt jordet på forhånd, kan der opstå elektrisk stød på grund af, at kabinettet oplades. Det er ikke svært at bestemme jordingsfejlen ved hjælp af et megohmmeter eller en seriekoblet pæretest. Fase til fase kortslutning kan ikke kun forårsages af isolationsskader, men også af metalfremmede genstande inde i motoren (såsom jernspåner, aluminiumsspåner, skruer, trådhoveder, loddebønner osv.). Interturn kortslutning er en kortslutning mellem ledningerne i selve faseviklingen, hvilket resulterer i et fald i det effektive antal vindinger af viklingen og overdreven strøm. Interturn kortslutninger kan detekteres ved hjælp af et transformerprincip for at skabe en kortslutningsdetektor.
